令和6年度
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長さの国家標準にトレーサブルな厚さ測定用両面干渉計 | 長さ標準 平井亜紀子 |
自由曲面光学素子の非接触高精度計測技術に関する調査研究 | 長さ標準 増田秀征 |
フォトマスク真円度測定装置の開発 | 幾何標準 鍜島麻理子 |
CMMによるスキャン測定の不確かさ | 幾何標準 佐藤理 |
14:40-14:55 休憩
14:55-15:40 講演「先端加工技術のためのナノインプロセス計測」
東京大学大学院工学系研究科精密工学専攻 准教授 道畑正岐
高付加価値製品の開発には、加工技術の改善が重要となる。加工現象を理解するため、従来は経験則やポストプロセス計測を用いることが
多かったが、未解明な部分が多く残っている。そこで、加工中の状態を測定するインプロセス計測が注目されている。本発表では、その
重要性と最近の取り組みを紹介する。
15:40-17:15 見学
(グループに分かれて、4か所の見学を予定しております。)
17:20 閉会
※ 17:35より、所内カフェピクニックにて交流会を開催します。(会費:3,000円)
お申し込みは、ページ下部にリンクのある開催案内PDFファイル内に記載したFormsよりお願いいたします。 〆切:9/18(水)
(なお、当講演会は、会員登録されていない方もご参加いただけます。)
ご不明な点がございましたら、長さクラブ・CMMユーザーズクラブ事務局
(length_club_jimu-ml_at_aist.go.jp または cmm-ml_at_aist.go.jp、 _at_を@に代えてください)まで、
お気軽にお問合せください。 皆様のご参加をお待ちしております。
令和元年度講演会 中止のお知らせ
昨今のコロナウイルス流行への対策といたしまして、
産総研においても、主催イベントの開催を自粛することとなりました。
つきましては、2020年3月4日開催予定のCMMユーザーズクラブにつきまして、
講演会自体、中止とさせていただくこととなりました。
お申込みいただいておりました皆様には、直前のご連絡となり、誠に申し訳ございません。
何卒ご理解いただけますよう、よろしくお願いいたします。