ナノCMOS集積グループ / Nano CMOS Integration Group

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当グループが活用しておりますクリーンルームでは、CMOSプロセスをベースとして、新規な材料や構造探索、新規なプロセス開発が可能となっております。

当グループの研究・活動にご興味をお持ちの際には、松川もしくは担当研究者までメールにてご連絡ください。
当グループでは、随時、共同研究・受託研究・技術研修の受け入れを行っております。

共同研究項目例
@ FinFETをはじめとする新構造ナノCMOSデバイス試作および開発
A 新規CMOSプロセス開発
B 装置開発サポート
C 技術研修、他

連絡先

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
ナノエレクトロニクス研究部門
ナノCMOS集積グループ

〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第2
2-13棟 422室
電話:029-861-2762(秘書) FAX:029-861-5170