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超小型半導体製造システム『ミニマル ファブ』が「2014年度 グッドデザイン賞」において、「未来づくりデザイン賞」(経済産業省商務情報政策局長賞)に選定されました。 PDF(400kB) MiraiDhukuri

■受賞対象 :
超小型半導体製造システム『 ミニマル ファブ』(minimal Fab)
事業主体名 : 独立行政法人産業技術総合研究所 コンソーシアムファブシステム研究会
・プロデューサー:同研究会 代表 原 史朗
・ディレクター:ミニマルファブ技術研究組合 事務局長 加藤 洋
・デザイナー : テシマ デザイン スタジオ 手島 彰
 +( 株)デザインネットワーク 二川真士

■受賞対象の概要:
ミニマルファブとは、多品種少量および変種変量生産ニーズに適応できる、まったく新しい半導 体生産システムである。ほとんど全てのデバイス1 個のサイズをカバーする0.5 インチ径ウエハ を製造単位として、そのウエハに対応した幅約30 ㎝の共通デザインの筐体の装置群を開発し、か つ密閉搬送容器であるミニマル シャトルを用いた局所クリーン化技術でクリーンルームを不要と することで、大型のクリーンルームを要する従来型のメガファブに比べて、製造設備投資額を従 来の1 / 1000 に抑える事が出来、地球環境対応と産業力強化の同時実現を目指す という特徴を 持っている。

■受賞対象の詳細:
□背景: 自動車や家電・情報通信機器を始めとする多くの製品には、LSIなどの半導体デバイスが使 用されているが、消費の多様化に伴い一機種当りの生産数量は減少している。ところが、デ バイス製造が大量生産にしか対応できておらず、メーカはその製品にカスタマイズしたデバ イスを作りたくも、コストが見合わずあきらめているのが現状である。小ロット・低コスト に対応できるデバイス製造という潜在ニーズへの対応が、開発の背景である。
□デザインコンセプト: 親しみのある”ヒューマンスケール・マニュファクチュアリング”が、ロゴ、マーク、装置、 共通のコンセプトとなっている。
□企画・開発の意義: 企業や大学など112 会員からなるファブシステム研究会共通のロゴ、マーク、フォントから なるデザインシステムを構築し、ビジュアルイメージを統一。洗浄や露光などの工程別、研 究と生産など目的別に48 種(14 年3 月)に及ぶ装置を、W294×D450×H1440mm の 統一サイズでモジュール化し、共通デザインの筐体を初期に開発したことで、研究と開発と 生産が本質的に同一的なシステム装置群を構成できた。

■審査員のコメント
ミニマルファブという概念を提案し、小型カプセルに封入されたウエハをロードして加工 していく。半導体製造工程にはクリーンルームが必要という従来の常識を覆し、驚異的な コストダウンを可能にした。

■ 本件に関するお問い合わせ先
独立行政法人産業技術総合研究所 広報部報道室
TEL : 029-862-6216, FAX: 029-862-6212, E-mail : hodo-ml@aist.go.jp

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平成26年11月5日

産業技術総合研究所コンソーシアム 
ファブシステム研究会 代表  原史朗

Last updated 2014.11.5