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  組織図 法人一覧 役員・運営委員 法人委員 産総研委員
産総研委員
      (ミッション)
  原 史朗 ナノエレクトロニクス研究部門 ミニマルシステムグループ 研究会統括
  前川 仁 ナノエレクトロニクス研究部門 ミニマルシステムグループ 搬送系、制御系
  池田 伸一 ナノエレクトロニクス研究部門 ミニマルシステムグループ 加熱炉、CVD
  クンプアン ソマワン ナノエレクトロニクス研究部門 ミニマルシステムグループ デバイスプロセス
  石田 夕起 先進パワーエレクトロニクス研究センター エピタキシャル成長チーム CVD
  中野 禅 先進製造プロセス研究部門 難加工材成形研究グループ プラズマ、イオン注入
  小木曽 久人 先進製造プロセス研究部門 集積加工研究グループ プラズマ
  行村 建 ナノエレクトロニクス研究部門 ミニマルシステムグループ プラズマ
  清水 禎樹 ナノシステム研究部門 フィジカルナノプロセスグループ プラズマ
  大平 俊行 計測フロンティア研究部門 陽電子プローブグループ イオン注入
  鈴木 良一 計測フロンティア研究部門 陽電子プローブグループ イオン注入
  前田 龍太郎 集積マイクロシステム研究センター 省エネ、MEMS全般
  廣島 洋 集積マイクロシステム研究センター ナノインプリント
  伊藤 寿浩 集積マイクロシステム研究センター トレーサビリティ
  高木 秀樹 集積マイクロシステム研究センター 大規模インテグレーション研究チーム 接合
  鈴木 健太 集積マイクロシステム研究センター 大規模インテグレーション研究チーム ナノインプリント
  飯田 健次郎 計測標準研究部門 ナノ材料計測科 微粒子計測研究室 微粒子計測
  上杉 文彦 生産計測技術研究センター プラズマ計測チーム プラズマ
  本村 大成 生産計測技術研究センター プラズマ計測チーム プラズマ
  銘苅 春隆 集積マイクロシステム研究センター グリーンナノデバイス研究チーム ナノインプリント
  昌原 明植 ナノエレクトロニクス研究部門 シリコンナノデバイスグループ デバイスプロセス
  遠藤 和彦 ナノエレクトロニクス研究部門 シリコンナノデバイスグループ デバイスプロセス
  松川 貴 ナノエレクトロニクス研究部門 シリコンナノデバイスグループ デバイスプロセス
  青柳 昌宏 ナノエレクトロニクス研究部門 3D集積システムグループ 実装工程
  菊地 克弥 ナノエレクトロニクス研究部門 3D集積システムグループ 実装工程
  渡辺 直也 ナノエレクトロニクス研究部門 3D集積システムグループ 実装工程
  長尾 昌善 ナノエレクトロニクス研究部門 新材料・機能インテグレーショングループ 塗布・現像、デバイスプロセス
  吉田 知也 電子光技術研究部門 シリコン光電子集積グループ デバイスプロセス
  秋永 広幸 ナノエレクトロニクス研究部門 エマージングデバイスグループ 想定ユーザ
  石川 浩 ネットワークフォトニクス研究センター 想定ユーザ
  鍬塚 治彦 ネットワークフォトニクス研究センター 機能フォトニクス研究チーム 想定ユーザ
  金高 健二 ユビキタスエネルギー研究部門 高機能ガラスグループ 想定ユーザ
  鹿田 真一 ユビキタスエネルギー研究部門 ダイヤモンドデバイス化研究グループ 想定ユーザ
  神代 暁 ナノエレクトロニクス研究部門 超伝導計測グループ デバイスプロセス
  山森 弘毅 ナノエレクトロニクス研究部門 超伝導計測グループ デバイスプロセス
  鈴木 章夫 集積マイクロシステム研究センター ネットワークMEMS研究チーム 想定ユーザ
  宮下 和雄 サービス工学研究センター サービス設計支援技術研究チーム ファブ生産性
  松本 光崇 サービス工学研究センター 行動観測・提示技術研究チーム ファブ性能
  今岡 和典 ナノエレクトロニクス研究部門 アドバイジング
  増井 慶次郎 先進製造プロセス研究部門 システム機能設計研究グループ ファブ性能
  原市 聡 電子光技術研究部門 所内連携推進
  市川 直樹 先進製造プロセス研究部門 所内連携推進
  岡崎 祐一 先進製造プロセス研究部門 岡谷地区との連携
  井上 道弘 九州センター 九州産学官連携センター 九州地区との連携
  猿渡 新水 九州センター 九州産学官連携センター 九州地区との連携
  金丸 正剛 ナノエレクトロニクス研究部門 アドバイジング、所内連携
  景山 晃 イノベーション推進本部 アドバイジング
       
Last updated 2014.5.5
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