ミニマルシステムグループ/ Advanced Materials and Devices Integration Group

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ミニマルシステムグループ
当グループでは、変量多品種デバイス製造を具現化するミニマルファブシステムの開発に取り組んでいます。あらゆる種類のデバイスを作製していくためのデバイスプロセス開発、製造工場として動作させるためのファクトリーシステム開発、様々なプロセス処理を必要最小限の資源で実現する装置開発という3つの開発を中心に、ファブシステム研究会ミニマルファブ技術研究組合と緊密に連携し開発を進めています。
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Thank you for visiting Minimal System Group website. We focus on the development of Minimal fab system for realizing low-volume and high-mix production, and study fabrication processes of devices with minimal resources. The system development works include the expansion of functionality of the tools and systematization to drive as a factory.
We are cooperating with Fab system research consortium and Minimal fab development association.

連絡先    Contact

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
ナノエレクトロニクス研究部門
ミニマルシステムグループ

〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第2 
Email: info[at]fabsystem.sakura.ne.jp (送信時は[at] を@に代えてください)

Nanoelectronics Research Institute, Minimal System Group
The National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)

AIST Tsukuba Central 2, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan
Email: info[at]fabsystem.sakura.ne.jp (Use @, instead of [at])