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ナノ棟CMOS研究施設

ナノ棟設備

ナノ棟CMOS試作設備は、CMOS試作に必要な全ての装置を、効率的に集約し、共同研究施設として活用しています。

CMOS試作ラインを含むナノエレクトロニクス部門パンフレットはこちらからダウンロードください。

broshure
パンフレット(PDF 2.9MB) 

設備概要(ナノ棟CMOS試作設備 150m2   2室)

CMOS_room1
      
CMOS_room2


写真1  g線露光機
写真2  電子顕微鏡(SEM)
写真3  金属成膜装置




写真4  ポリSi CVD
写真5  RIE




 CMOS_list


  

CMOS試作工程:フィン型トランジスタを一例に

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アクセス

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