「人と技術の会」は、産総研コンソーシアムの一組織です

インスペクション技術研究会

幹事

野中　一洋（産業技術総合研究所　エレクトロニクス・製造領域　エレクトロニクス・製造領域研究戦略部　イノベーションコーディネータ）

趣旨

　九州地域では、半導体産業は牽引産業と位置付けられており、ウエハ製造から各種デバイスまで、我が国を代表するいくつかの量産工場が活動している。　また、関連の半導体後工程と呼ばれるICパッケージの組み立て工程に関しては非常に多くの中小企業が展開している。海外との熾烈な競争の中で、高品質で高効率な生産力の確保が必要になっている。 これらに直結する検査技術については、年々進む半導体の微細化に伴って、高精度化および高速化などの要求が高まっている。さらに、人間の感覚に頼った官能検査の自動化・定量化など、従来技術では対応できない新たな検査ニーズも増加している。 これらの検査ニーズに対応するために、KICC・画像処理技術研究会（平成20〜21年度）においては、産総研を中心とし、福岡、熊本、及び鹿児島の各県工技／産技センターと連携して「高精度・高スループット2D-3Dインスペクション技術の開発」に取り組み、半導体外観検査技術の高度化と、その成果普及に努めてきた。これまで4回の成果普及発表会（平成21年度）を開催し、のべ39社、76名の企業関係者の皆様からのご参加をいただいている。 本提案のインスペクション技術研究会では、これまでの活動をさらに発展させ、九州地域の企業ニーズに応え、企業技術力向上、課題解決等を目的として、九州地域の公設研メンバーとの緊密な連携のもと、講演会を含む種々の情報発信、プロジェクト化等に取り組む。 さらに、半導体を中心としたインスペクション技術から、自動車、電子、素材など、九州地域の他の主力産業への応用展開を図る。

問合せ先

インスペクション技術研究会事務局　　 inspect-ml☆aist.go.jp（☆→@へ）

精密加工プロセス研究会

幹事

土肥　俊郎（九州大学　産学連携センター　連携部門　特任教授）

趣旨

　半導体分野の生産現場では、製造プロセス・製品検査・設備管理の実環境下に おいて、生産性向上、製品不具合対応、安全・環境保全確保に関わる種々の課題 が存在します。例えば、LSIの生産では品質の高さが求められますが、高品質の LSIを高歩留まりで安定して製造するためには、製造装置自体の量産安定性を確 保することが必須条件です。LSI用半導体ウエハの量産加工プロセスに象徴され るように、フラットパネルディスプレイ（FPD）、太陽電池あるいは MEMS（Micro-Electro Mechanical System）などの製造プロセス等も高精度・高 品質化の精密加工プロセスがキーとなっていることは周知の事実です。しかしながら、高能率化と安定性を阻害する要因の抽出や解決は必ずしも十分にはできて いません。
　そこで、九州地域の研究者・技術者のネットワークを構築し、連携して量産を 前提とする高能率の精密加工プロセスの安定性向上、および計測・診断技術の研 究開発と実用化を推進する。そして、九州地域の産学官の精密加工に関する研究 者がそれぞれの立場から有するシーズの社会貢献・地域貢献を促進するため、九 州地域の種々の分野の企業ニーズとのマッチングを図る。これらのことを目的と して、産業技術総合研究所九州センターが運営する「計測・診断システム研究協 議会」に「精密加工プロセス研究会」の発足をお願いしました。 　九州地域の産業振興を願っている産学官からの積極的な参加を期待しています。

ＷＧ

平成27年7月27日に「3次元積層造形精密後加工技術WG」を設立しました。
・WG幹事：土肥　俊郎（九州大学)、鈴木　教和（名古屋大学）

問合せ先

精密加工プロセス研究会事務局　　seimitsup-ml☆aist.go.jp（☆→@へ）

※「3次元積層造形精密後加工技術WG」は、平成29年2月28日をもって活動を停止し、活動母体を精密工学会の「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」に移管してさらなる発展を期することになった。 また、本母体である「精密加工プロセス研究会」も、平成21年の第1回から平成29年の第33回まで８年間にわたり毎回多数の参加者のもとタイミングを得た講演会を活発に開催してきたが、当初の目的を達成し、上記精密工学会内の委員へ活動を統合することにより、平成29年3月31日をもって活動を停止することになった。長年にわたりご協力・ご支援をいただきました関係者の皆様方に感謝いたします。

プラズマ技術研究会

幹事

上杉　文彦（産業技術総合研究所　エレクトロニクス・製造領域　製造技術研究部門　センサシステム技術研究グループ 　上級主任研究員）

趣旨

　半導体分野の生産現場では、製造プロセス・製品検査・設備管理の実環境下において、生産性向上、製品不具合対応、安全・環境保全確保に関わる種々の課題が存在します。 LSIの生産では品質の高さが求められます。高品質のLSIを高歩留まりで安定して製造するためには、製造装置自体の量産安定性を確保することが最も重要です。中でもLSI量産用プラズマエッチング装置の安定性を向上させることは重要な課題となっています。 しかしながら、安定性を阻害する要因の抽出や解決は必ずしも十分にはできていません。 そこで、九州の研究者・技術者のネットワークを構築し、連携して量産用プラズマエッチング装置の安定性向上、および、計測・診断技術の研究開発と実用化を推進することをはじめとして、九州地区の大学・高専のプラズマ研究者が有するシーズの社会貢献・地域貢献を促進するため、九州の種々の分野の企業ニーズとのマッチングを図ることを目的として、プラズマ技術研究会を新たに発足させることにいたしました。 九州地域の産業振興を願っている「産」「学」「官」からの積極的な参加を期待しています。

ＷＧ

平成24年9月19日に「ミニマルファブ用プラズマプロセス開発WG」を設立しました。
・WG幹事：白谷　正治（九州大学）

問合せ先

プラズマ技術研究会事務局　　plasmakkk-ml☆aist.go.jp（☆→@へ）

ミニマル3DICファブ開発研究会

幹事

浅野　種正（九州大学大学院　システム情報科学研究院 教授）

趣旨

　莫大な投資を必要とするこれまでの半導体生産方式とは全く異なる多品種少量生産に適した新しい半導体生産システムである「ミニマルファブ」構想が提案され、注目を浴びています。 一方、半導体の新アプリケーション分野としては、将来の産業として大きな成長が予想される医療、環境、食糧、エネルギー関連分野などがあり、これらの業界においては、これまでにない極めて多様な半導体デバイスが求められ、その実現のためにシリコン貫通電極TSVを使った三次元集積回路（3DIC）の技術が重要となっています。 本研究会では、これまでのMoore’s Lawを牽引してきた“微細化”と“大口径化”の路線に代わる新たな半導体のパラダイムとしての“ミニマルファブ”＆“３ＤＩＣ”の構想に基づいて、大口径ウェハにおける3DICの開発課題を克服すると共にミニマルファブ構想のメリットを最大限に生かす半導体生産システムの実現を目指しています。つくばに拠点を置く「ファブシステム研究会」と「ミニマルファブ技術研究組合」で基本的なコンセプトを立案してICおよびMEMSの前工程を開発し、九州において三次元化を含めた実装工程部分の開発を推進する体制を構築しています。 九州地域の産業振興を願っている「産」「学」「官」からの積極的な参加を期待しています。

問合せ先

ミニマル3DICファブ開発研究会事務局　mini3dic-ml☆aist.go.jp（☆→@へ）

※今後、ミニマル3DICファブ開発研究会は、産総研九州センター直轄の研究会となります。「ミニマルファブ」の普及に重点を移しつつ、ファブシステム研究会（つくば）と連携した任意グループとして活動します。「ミニマルファブ」についてのご意見などありましたら、上記ミニマル3DICファブ開発研究会事務局までご連絡をお願い致します。

食品・バイオテクノロジー技術研究会

幹事

松田　直樹（産業技術総合研究所　エレクトロニクス・製造領域　製造技術研究部門　生物化学プロセス研究グループー 上級主任研究員）

趣旨

　九州地域は特に日本の中でも農業が盛んで食品加工業が多い地域である。 口蹄疫や鳥インフルエンザが発生すると大きな打撃を受けるため、早急な診断方法や発生経路の解明が望まれている。 また食品加工業にとって有害菌類の問題は非常に重要であり、近年は食品の海外向けの輸出が盛んになっており、迅速で確実な検査方法等の開発は望まれている。 更に近年バイオテクノロジーの進歩は著しく、バイオエレクトロニクスデバイス以外にも医薬品、医療、人工臓器、健康食品、バイオ燃料等に発展している。 生体分子や生物機能を解明し利用するには界面に固定化しナノオーダーでの構造と機能の関係を明確にする必要がある。また上述した食品関連の技術革新にはこうしたナノバイオテクノロジーや界面に関わる広範囲な技術が必要不可欠である。 そこで本研究会では講演会や交流会を通して、公的研究機関、企業、大学が持つそれぞれの最新の測定法、センサ技術、表面・界面修飾方法、及びそれらに関わる技術の向上・確立を指向し、企業への技術移転を支援し、新規産業開拓を行うことを目標とする。

問合せ先

食品・バイオテクノロジー技術研究会　shoku-bio-ml☆aist.go.jp（☆→@へ）