特許番号 | 第2929006号 |
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出願番号 | 特願平10-193446号 |
出願日 | 平成10年(1998)7月8日 |
発明者 | 皆川 秀紀、 中田 善徳、 永井 秀明、 鈴木 正昭、 鶴江 孝、 伊藤 圭穂 |
出願人 | 工業技術院長 |
特許権者 | 工業技術院長 |
発明の目的: 短時間微小重力環境を利用して簡便かつ経済的に高品質結晶薄板材料を製造する。
発明の効果: 単結晶などの高品質結晶材料の製造では、煩雑なプロセス制御、長時間、高価な設備が必要である。 本発明によれば高品質結晶薄板材料を簡便にかつ経済的に製造可能。
発明の概要: 対流が抑制され、液体が均質に存在できる微小重力環境下で、半導体などの熱融解性含金属材料の 融液の液体膜をその一端から冷却凝固させることによって、高品質結晶からなる薄板状の半導体などの材料を 従来の結晶育成法とは異なる簡単な融液・凝固プロセスのみで製造することができる。
図面:
微小重力環境下で図の溶融-凝固装置により高品質結晶薄板材料を製造する。