発明の名称：一方向電気伝導性ケイ素系プラズマ重合膜及びその製造方法

発明の目的：　従来の方法では合成できなかった、ケイ素系化合物をモノマーとして一方向性電気伝導性の プラズマ重合膜及びその製造方法を提供することである。

発明の効果：　本発明によれば、一方向にのみ電気伝導性を持つケイ素系プラズマ重合膜を製造することができる。 本発明の一方向電気伝導性ケイ素系プラズマ重合膜では、ドーピングを行わない場合、半導体領域の電導性を示す。 この場合、重合膜の電導性を持つ方向に複数の電極を接続することにより、1枚のプラズマ重合膜から複数の 半導体素子が得られる。また、高電気電導性をプラズマ重合膜に付与したい場合、ドーピングすることにより 容易に達成でき、この場合も1枚のプラズマ重合膜に複数の電極を設置することにより、複数の回路を つくることができる。

発明の概要：　組織が基板に対して垂直方向に成長した構造を有するフェニルシラン化合物及び シリルベンゼン化合物からなるプラズマ重合膜で、成長方向に沿って、10^-6S/cm以上また、 成長の垂直方向に10^-12S/cm以下の電気伝導度を持つ重合膜及びその製造法に関する。

図面：　一方向電気伝導性ケイ素系プラズマ重合膜の構造