発明の名称：透明酸化物薄膜の製造法

発明の目的：　簡単な操作で比較的短時間に且つ省エネルギー的に、大面積にわたって均一な膜厚を持ち しかも組成が緻密に制御された非晶質な透明酸化物薄膜製造方法の提供を目的としている。

発明の効果：　任意の組成の酸化物薄膜を基盤上に形成させることが容易であり、最終的に得られる酸化物薄膜は 非晶質になる、一回の塗布・乾燥・加水分解で500ないし2000オンダストロームの厚さを持った膜を作ることが出来る。 膜厚は溶媒中の該エステルの温度や塗布方法によって異なり、一度作成した膜の上に何度も重ねて膜を作ることが出来、 膜厚は膜形成の回数に正比例する。

発明の概要：　電気化学的表示素子(エレクトロクロミック素子或いはエレクトロケミカル表示素子)に用いられる 透明酸化物薄膜の製造法に関するもので,任意の混合比のタングステン酸エステル、モリブデン酸エステル 及びバナジュウム酸エステルをアルコールを主成分とする溶媒に溶解したものを所望の基盤上に塗布し、 乾燥して加水分解によって有機物を除去することが出来、簡単に且つ省エネルギー的に膜厚と組成が厳密に 制御された非晶質の透明酸化物薄膜が得られる製造方法を提供する。

図面：　サイクリックボルタンメトリーと得られたグラフ



1：薄膜
2：透明電極
5：電解質溶液
8：白金箔