材料表面の素顔を探るX線光電子分光法(XPS)による表面分析

　表面分析法には、X線光電子分光法（XPS）、オージェ電子分光法（AES）、二次イオン質量法（SIMS）等があるが、何れも電子、X線、イオンなどを試料表面に照射して試料からの電子、イオンなどの放出粒子を観測することにより組成、化学状態、結晶構造などの情報が得られる。 XPSは水素を除く全元素について元素分析ができ、かつ化学的な状態の情報が非破壊的に得られるという特徴があり高い利用価値を持っている。 我々は、XPSを金属合金材料表面への薄膜コーティングやイオン注入などによる表面改質などの研究に用いてきたが、ここでは、XPSの簡単な原理と鉄-クロム合金の表面層の分析例を紹介したい。