沿面コロナ放電CVDによるAlN微粒子の合成

　沿面コロナ放電を反応の励起源に利用して，塩化アルミニウム（AlCl₃）とアンモニア（NH₃）との気相反応から窒化アルミニウム（AlN）微粒子を合成した． 生成粒子はほぼ球形で滑らかな表面を有する非晶質粒子であった．
　平均粒子径d_avはAlCl₃の初期濃度とともに増加し，濃度の0.4乗に比例した． d_avの値は所定のガス平均滞留時間t_Rで208〜431nmの範囲であった． また，粒子径に対する滞留時間の影響には，d_av∝t_R^0.2なる関係が認められた． 粒度分布は，幾何標準偏差が1.3から1.6の範囲で比較的粒度の揃った微粒子であった．
　生成粒子中の不純物酸素のうち，加熱処理後にAl₂O₃として存在する酸素をグラファイト還元剤を用いて1673Kの温度条件で除去した． さらに，処理後の粒子に残存するグラファイト粉末を973Kで燃焼除去した粒子には7.4wt％の酸素が含まれていた．