EPMAによる分析法とその応用例

　EPMAはElectron Probe X-ray Micro-Analyserの略であり，フランスのCastaingによって1949年にこの原理が発表され，最初に静止型のX線マイクロアナライザーが世に出された。 この後，走査型のX線マイクロアナライザーがイギリスのCosslettやDuncumbらによって1956〜1957年頃に開発され，更に改良が加えられた。
　我が国では，国産製品が試作されたのは1960年であり． 主として，金属，冶金学の分野で実用化されるようになリ，数年後の1966年頃に地質学，鉱物学の分野にも導入されるに至った。
　当初では，1967年（昭和42年）に島津-ARLがはじめに購入され，金属材料，鉄鉱石や鉱物の組成分析にその威力が発揮された。 その実績を基に，1972〜1973年（昭和47〜48年）には，更に日本電子-50Aの本体と分光器が2年がかりで購入された。 これは，微小領域でのSEM像（〜×10,000）と対応させながら定性，定量分析ができる画期的なもので，従来以上に，所内での利用の外，依頼分析，技術指導，研究生の受け入れ等で利用が増し，現在に至っている。
　本装置の主な利用分野では，金相学的な分析手段として，析出物や介在物の組成決定，元素の拡散，偏析，溶接部や表面酸化層の調査等があり，金属や合金の研究で大きな成果がみられる。
　また，岩石や鉱物中の微細組成の判定，ガラスやセラミックスの分野，更には，木材や生物体の試料中の元素の検出に利用され，その応用分野は多岐にわたっている。
　従って，ここでは，EPMAの特徴とその利用方法についての概要を示し，今後利用する方々の参考になれば幸いと思い，筆者らがこれまで用いた実例も含め応用例をいくつか紹介する。