エレクトロニクス・製造領域 電子光技術研究部門 先進プラズマプロセスグループ

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概要

研究目標

先進プラズマ技術の高度制御による革新的な省エネルギー・低環境負荷エレクトロニクスデバイスの開発と成果の社会還元、及び、安心・安全な超高齢化社会実現への貢献を目標としています。

重点研究

 1.カーボン系材料開発
  ・高集積・薄膜型電子デバイス用の高性能放熱材、及び熱伝導路集積回路
   平成27−28年度電子光技術研究部門・部門重点課題として,「ナノカーボン電気・熱伝導材料技術に関する研究」を実施しています。

 2.窒化物系材料開発
  ・半導体用h-BN膜、高効率緑色LED素子、緑色レーザー

 3.ライフサイエンス系研究開発
  ・低侵襲プラズマ止血装置の研究開発
  ・国際標準化研究(IEC / TC 62 - SC 62D - WG34 Project)、開発ガイドライン策定
  ・剤型加工(低温・高反応プラズマプロセス)、がん治療用薬剤

保有技術・装置

低気圧・中間気圧・大気圧プラズマ生成技術、固体元素由来プラズマ生成技術、イオンビーム技術、パルス電子ビーム技術、数値シュミレーション技術、計測技術など

その他

2011年12月に発行されました「応用物理学会・プラズマエレクトロニクス分科会会報No. 55の研究室紹介(その50)」に旧エネルギー技術研究部門先進プラズマ技術グループの研究内容が紹介されています。

更新情報

2017年 5月11日 研究会 第4回 産総研プラズマ研究会(所内向け研究会)」開催概要を掲載しました。
2017年 4月 1日 HP メンバーをリニューアルしました。
2016年 4月15日 研究会 第3回 産総研プラズマ研究会(所内向け研究会)」開催概要を掲載しました。
2016年 4月 1日 HP グループ紹介TOP及びメンバーをリニューアルしました。
2016年 3月25日 受賞 筑波大学大学院 システム情報工学研究科 構造エネルギー工学 博士前期課程2年 野中淳司氏の修士論文が筑波大学大学院 構造エネルギー工学専攻長賞を受賞しました。
2016年 1月22日 受賞 筑波大学大学院 システム情報工学研究科 構造エネルギー工学 博士後期課程1年 山田大将氏がつくば医工連携フォーラム2016において、研究奨励賞を受賞しました。
2015年12月11日 受賞 筑波大学大学院 システム情報工学研究科 構造エネルギー工学 博士後期課程2年 藤原大氏が4th Japan-Korea Joint Symposium on Plasma and Electrostatic Technologies for Environmental Application 2015 において、Student Award (Best Oral Presentation)を受賞しました。
2015年04月1日 HP ホームページをリニューアルしました。

連絡先

国立研究開発法人  産業技術総合研究所

電子光技術研究部門 先進プラズマプロセスグループ

〒305-8569 茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第2
 Eメール:plasma-ghp-info@aist.go.jp  (@は半角に変換してください。)