産業技術総合研究所 中国センター

山口県産業技術センター

分野 機械 、 計測・分析
有機材料診断 機械的
機器名 高精度表面粗さ輪郭形状測定機
製造所名と形式 株式会社東京精密
SURFCOM NEX 231 
DX2-14
装置の概要 製品・部品等の表面性状測定(JIS B0681:2018(三次元粗さ)及びJIS B0601:2013(線粗さ)準拠)、輪郭形状、段差等の測定・評価を触針による接触測定で行う。
仕様・構成 検出器:3種類切替式
[ハイブリッド検出器(粗さ・輪郭測定)]
 ・触針アーム:50mm
  測定範囲(Z軸):13mm,測定分解能:0.9nm
 ・触針アーム:100mm
  測定範囲(Z軸):26mm,測定分解能:1.8nm
[粗さ測定検出器]
 ・測定範囲(Z軸):6.4~1,000㎛
 ・測定分解能:0.1~20nm(Z軸の測定範囲により変化)
[輪郭測定検出器]
 ・測定範囲(Z軸):60mm
 ・測定分解能:0.04㎛
三次元粗さ用測定台:120(W)×100(D)mm(許容積載重量5kg)
設置年度 2022(令和4)年度
担当窓口 山口県産業技術センター 技術相談・支援室
(0836-53-5053)
料金 1,620円/時間
備考
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