産業技術総合研究所 中国センター

山口県産業技術センター

分野 計測・分析 、 材料 、 表面処理
有機材料診断 物理的
機器名 蛍光X線膜厚計
製造所名と形式 株式会社フィッシャー・インストルメンツ XDV-SDD
装置の概要 極薄膜や多層膜の検査(電子・半導体など)
NiP膜の組成分析、厚さ測定
仕様・構成 測定可能元素:Al(13)~U(92)
コリメーター数/サイズ:4種/φ0.1mm~φ3mm
設置年度 2018(平成30)年度
担当窓口 山口県産業技術センター 技術相談・支援室
(0836-53-5053)
料金 710円/時間
備考
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