| 分野 | 化学 、 計測・分析 、 材料 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 環境・その他 |
| 機器名 | イオンミリング装置 |
| 製造所名と形式 | 日本電子（株） IB-09020CP |
| 装置の概要 | アルゴンイオンを試料断面に平行に照射して損傷のない断面を作製する装置です。電子部品の不良箇所の観察や材料界面評価のための電子顕微鏡試料の作製に利用できます。 |
| 仕様・構成 | イオン加速電圧：～8kV イオンビーム径：500㎛以上（半値幅） ミリングスピード：約100㎛/H（加速電圧6kV時） 最大搭載試料サイズ：11mm（幅）×10mm（長さ）×2mm（厚さ） 試料回転ホルダ有 |
| 設置年度 | 2010（平成22）年度 |
| 担当窓口 | 山口県産業技術センター 技術相談・支援室 （0836-53-5053） |
| 料金 | 1,760円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
