| 分野 | 電気・電子 、 表面処理 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 物理的 |
| 機器名 | 干渉膜厚計 |
| 製造所名と形式 | 大塚電子株式会社 FE-3000YIT |
| 装置の概要 | 半導体や光学材料などの多層膜の絶対反射率・多層膜解析・膜物性解析（n:屈折率、k:消衰係数）の測定 |
| 仕様・構成 | 測定レンジ：1nm－40㎛ 膜厚分解能：1nm(SiO2/Si) 測定波長範囲：230nm－800nm 検出器：電子冷却型CCDエリアイメージセンサ 512ch 光源：D2/I2（紫外-可視仕様） |
| 設置年度 | 2010（平成22）年度 |
| 担当窓口 | 山口県産業技術センター 技術相談・支援室 （0836-53-5053） |
| 料金 | 1,000円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
