| 分野 | 計測・分析 、 材料 、 表面処理 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 化学的 |
| 機器名 | フィールドエミッションオージェ電子顕微鏡 |
| 製造所名と形式 | 日本電子株式会社 JAMP-9500F |
| 装置の概要 | 酸化皮膜等の極表面(表面から数nmの深さまで)の成分分析およびイオンスパッタリング法による深さ方向の元素組成の変化(デプスプロファイル)の測定。面分析可能。 |
| 仕様・構成 | フィールドエミッション電子銃 加速電圧0.5～30kV |
| 設置年度 | 2010（平成22）年度 |
| 担当窓口 | 山口県産業技術センター 技術相談・支援室 （0836-53-5053） |
| 料金 | 7,790円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
