| 分野 | 表面処理 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | 反応スパッタリング装置 |
| 製造所名と形式 | 株式会社ユーテック YE1721 |
| 装置の概要 | スパッタリング法およびプラズマCVD法によりセラミックス膜やダイヤモンドライクカーボン膜を真空中で試料表面に形成する装置。 |
| 仕様・構成 | 4インチマグネトロンスパッタリング×3， ICP電源(1kW)，RF電源(500W) 基板加熱回転機構(300℃以下) |
| 設置年度 | 2000（平成12）年度 |
| 担当窓口 | 山口県産業技術センター 技術相談・支援室 （0836-53-5053） |
| 料金 | 11,200円/日 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
