| 分野 | 表面処理 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | マスクアライナー |
| 製造所名と形式 | ユニオン光学株式会社 EMA400 |
| 装置の概要 | フォトリソグラフ工程における露光 |
| 仕様・構成 | 2視野顕微鏡付 |
| 設置年度 | 2003（平成15）年度 |
| 担当窓口 | 山口県産業技術センター 技術相談・支援室 （0836-53-5053） |
| 料金 | 1,200円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
| 分野 | 表面処理 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | マスクアライナー |
| 製造所名と形式 | ユニオン光学株式会社 EMA400 |
| 装置の概要 | フォトリソグラフ工程における露光 |
| 仕様・構成 | 2視野顕微鏡付 |
| 設置年度 | 2003（平成15）年度 |
| 担当窓口 | 山口県産業技術センター 技術相談・支援室 （0836-53-5053） |
| 料金 | 1,200円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 | |