| 分野 | 表面処理 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | スパッタリング装置 |
| 製造所名と形式 | 神港精機（株） SRV4311 |
| 装置の概要 | 金属やセラミック膜を真空中で試料表面に形成する装置。 本装置は、コンピュータ制御により多層膜、傾斜膜が自動的に形成可能 |
| 仕様・構成 | 3源マグネトロンスパッタ源(500W) 基板冷却加熱回転機構(300℃常用) ELディスプレイ付き |
| 設置年度 | 1998（平成10）年度 |
| 担当窓口 | 山口県産業技術センター 技術相談・支援室 （0836-53-5053） |
| 料金 | 12,360円/日 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
