| 分野 | 材料 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | 高精度研磨装置 |
| 製造所名と形式 | （株）ナノファクター FACT-200 |
| 装置の概要 | 試料表面を高精度に研磨加工する装置。 主に薄膜電子デバイスに用いる基板材料（セラミックス、ガラス、単結晶）の表面研磨に用いる |
| 仕様・構成 | ラップ圧力：100g/cm2以上 ラップ可変式（無断変速） 左右ストローク：180～200mm |
| 設置年度 | 1995（平成7）年度 |
| 担当窓口 | 山口県産業技術センター 技術相談・支援室 （0836-53-5053） |
| 料金 | 540円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
