| 分野 | 材料 、 表面処理 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 環境・その他 |
| 機器名 | 真空蒸着装置 |
| 製造所名と形式 | 日本電子（株） JEF-400 |
| 装置の概要 | 真空に引いたベルジャー内で金属蒸着源やカーボンロッドを加熱し、試料に金属やカーボンを蒸着する装置 電子顕微鏡試料の導電コーティング等に使用する |
| 仕様・構成 | 到達圧力：3×10-4Pa以下 蒸着用電極2組（カーボンロッド用、プレートヒーター用） |
| 設置年度 | 1989（平成1）年度 |
| 担当窓口 | 山口県産業技術センター 技術相談・支援室 （0836-53-5053） |
| 料金 | 580円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
