産業技術総合研究所 中国センター

山口県産業技術センター

分野 計測・分析 、 表面処理
有機材料診断 機械的
機器名 超微小押込み硬さ試験機
製造所名と形式 (株)エリオニクス ENT-1100a
装置の概要 薄膜の硬度・ヤング率の測定と材料特性評価
仕様・構成 荷重範囲:0.1mN~1N
測定範囲:0~20㎛
 分解能:0.3nm
試料最大サイズ:φ50×5mm
視野倍率:対物レンズ20倍(CRT倍率、約350倍)
設置年度 2003(平成15)年度
担当窓口 山口県産業技術センター 技術相談・支援室
(0836-53-5053)
料金 1,310円/時間
備考
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