| 分野 | 計測・分析 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 環境・その他 |
| 機器名 | イオンミリング装置 |
| 製造所名と形式 | （株）日立ハイテク ArBlade5000 |
| 装置の概要 | 割断や機械研磨によって試料表面に残るキズやひずみをアルゴンイオンビームの照射によって除去し、走査電子顕微鏡の観察や分析に適した平滑面を得ることができる前処理装置。 ≪こんなことができます≫ 試料の積層形状、膜厚評価、結晶状態や異物の解析のための前処理装置。 断面出しや機械研磨後の最終仕上げに利用。 |
| 仕様・構成 | 【断面ミリング加工】 ・加工レート：1mm（試料：Siウェハ） ・冷熱温度調整機能付き（0～-100℃） ・取付可能試料サイズ：幅20×高さ12×厚さ7mmまで 【平面ミリング加工】 ・ビーム照射範囲：直径約30mm ・取付可能試料サイズ：直径50×高さ20mmまで |
| 設置年度 | |
| 担当窓口 | 鳥取県産業技術センター 機械素材研究所 機械・無機材料グループ （0859-37-1811） |
| 料金 | （マスク使用あり） 2,000円/時間 （マスク使用あり・液化窒素使用） 2,600円/時間 （マスク使用なし） 1,200円/時間 |
| 備考 | ※終日利用可能 |
| 全体写真 |  |
