産業技術総合研究所 中国センター

鳥取県産業技術センター 機械素材研究所

分野 計測・分析
有機材料診断 環境・その他
機器名 レーザーSPM複合顕微鏡
製造所名と形式 島津製作所 SFT-4500
装置の概要 光学顕微鏡・レーザー顕微鏡(LSM)・プローブ顕微鏡(SPM)を複合し、同じ視野を異なる検鏡法で観察・測定する装置です。
◆機械部品や電子部品のナノオーダーの観察や形状・粗さ測定
◆薄膜、微粒子、ナノファイバー等の観察や形状測定
◆部品表面の傷や異物の観察や形状測定
◆数十倍から百万倍の超ワイド領域において、ミリメートルからナノメートル(万分の1㎜)までの観察・測定を一台で実現
◆各種顕微鏡をシームレスに切り替えることができるため、一度、探したターゲット(観察対象)を見失うことなく観察が可能
◆SPMでは、三次元観察・形状測定と同時に、粘弾性や電流、電位 磁気などの物性分布評価も可能

≪こんなことができます≫
◆機械部品や電子部品のナノオーダーの観察や形状・粗さ測定
◆薄膜、微粒子、ナノファイバー等の観察や形状測定
◆部品表面の傷や異物の観察や形状測定
仕様・構成 ◆装置構成
 (1) 本体 
   島津ナノサーチ顕微鏡 
   SFT-4500
   (100mm×100mm電動ステージ)
 (2) 観察・解析ソフトウェア
   顕微鏡標準付属ソフトウェア
   SPMデータ用粒子解析
   フォースカーブ解析
   SPM測定モード
   コンタクト、ダイナミック
   位相、電流、表面電位、磁気力
 (3) 制御用PC
   Workstation Z440
 (4) 付属品
   アクティブ除振台内蔵防音エンクロージャ
設置年度 2015(平成27)年度
担当窓口 鳥取県産業技術センター 機械素材研究所 システム制御グループ
(0859-37-1811)
料金 700円/時間
備考
全体写真 全体写真