| 分野 | 計測・分析 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | 高精度輪郭形状測定機 |
| 製造所名と形式 | マール・ジャパン（株） MarSurf LD 260 |
| 装置の概要 | 接触式により輪郭形状、表面粗さ、寸法測定ができる装置です。上下両側に接触子を備えており上下面間の距離の測定が可能で、ISO25178に準拠した３次元表面性状評価を行うことができます。 |
| 仕様・構成 | トレース長さ(Lt) 0.1mm～260mm 位置決め速度測定 0.02mm/s ～ 200mm/s 速度 0.02mm/s～10mm/s 最大測定ポイント 520万ポイント 分解能 0.8nm X軸表示不確かさ ±(0.2+L /1,000)㎛ プローブ測定範囲 13mm(100mmプローブアーム) プローブ測定範囲 26mm(2,000mmプローブアーム) 測定圧 0.5mN～30mN※ソフトウェアにより調整可 |
| 設置年度 | 2022(令和4)年度 |
| 担当窓口 | 鳥取県産業技術センター 機械素材研究所 システム制御グループ （0859-37-1811） |
| 料金 | 400円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
