産業技術総合研究所 中国センター

鳥取県産業技術センター 機械素材研究所

分野 計測・分析
有機材料診断 環境・その他
機器名 電界放出型走査電子顕微鏡
製造所名と形式 日立ハイテクノロジーズ SU5000
装置の概要 細く絞った電子線を照射し、試料表面から発生する2次電子、反射電子等を検出し、高倍率(数万~数十万倍)・高分解能(10-9m:ナノメートルスケール)の観察・分析を行う装置。
仕様・構成 ◆本体:ショットキー走査電子顕微鏡SU5000
 倍率10~600,000倍、加速電圧0.5~30kV
 分解能1.2nm(加速電圧30kV、WD5mm、観察倍率18万倍)
◆分析部:EDAX Pegasusシステム
 〔エネルギー分散型X線分析装置(EDS)、結晶方位解析装置(EBSD)〕
設置年度 2017(平成19)年度
担当窓口 鳥取県産業技術センター 機械素材研究所 機械・無機材料グループ
(0859-37-1811)
料金 2,800円/時間
備考
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