分野 | 計測・分析 |
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有機材料診断 | 環境・その他 |
機器名 | 電界放出型走査電子顕微鏡 |
製造所名と形式 | 日立ハイテクノロジーズ SU5000 |
装置の概要 | 細く絞った電子線を照射し、試料表面から発生する2次電子、反射電子等を検出し、高倍率(数万~数十万倍)・高分解能(10-9m:ナノメートルスケール)の観察・分析を行う装置。 |
仕様・構成 | ◆本体:ショットキー走査電子顕微鏡SU5000 倍率10~600,000倍、加速電圧0.5~30kV 分解能1.2nm(加速電圧30kV、WD5mm、観察倍率18万倍) ◆分析部:EDAX Pegasusシステム 〔エネルギー分散型X線分析装置(EDS)、結晶方位解析装置(EBSD)〕 |
設置年度 | 2017(平成19)年度 |
担当窓口 | 鳥取県産業技術センター 機械素材研究所 機械・無機材料グループ (0859-37-1811) |
料金 | 2,800円/時間 |
備考 | |
全体写真 | ![]() |