| 分野 | 機械 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 物理的 |
| 機器名 | 非接触表面形状測定機 |
| 製造所名と形式 | Zygo社 NewView7300 |
| 装置の概要 | 試料表面の形状や粗さを非接触・非破壊で定量的に評価する装置。 顕微鏡タイプで、視野面の一括走査により極めて短時間で三次元表面形状測定が可能です。 |
| 仕様・構成 | 垂直走査距離：150㎛ 垂直測定分解能：0.1nm,3nm,20nm（測定モードによる） レンズ倍率：対物レンズ1.0,2.5,10,50倍 ズームレンズ0.5,1,2倍 測定視野：0.07×0.05mm～14.１×10.6mm （Stitchアプリケーションにより150×150mmまで対応可能） 可動範囲：X150mm×Y150mm×Z100mm |
| 設置年度 | 2012(平成24)年度 |
| 担当窓口 | 島根県産業技術センター 企画調整スタッフ （0852-60-5141） |
| 料金 | 1,340円/時間 |
| 備考 | (財)JKAの設備拡充補助を受けて導入した機器です。 |
| 全体写真 |  |
