| 分野 | 電気・電子 、 材料 、 表面処理 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 環境・その他 |
| 機器名 | クロスセクションポリッシャー |
| 製造所名と形式 | 日立ハイテクノロジー社 IM-4000 |
| 装置の概要 | アルゴンイオンビームを試料に照射することにより、スパッタエッチングを行い、走査電子顕微鏡等による断面観察および表面観察用の試料作製を行うことが出来る装置。 |
| 仕様・構成 | 加速電圧0～6kV 使用ガス Ar 最大ミリングレート ・断面ミリング 約300㎛/hr（Si） ・平面ミリング 約2㎛/hr(傾斜60°偏心4mm) 最大試料サイズ：W20×D12×H7 |
| 設置年度 | 2013(平成25)年度 |
| 担当窓口 | 島根県産業技術センター 企画調整スタッフ （0852-60-5141） |
| 料金 | 1,290円/時間 |
| 備考 | 2012年度経済産業省補助事業「地域新産業創出基盤強化事業」で導入 |
| 全体写真 |  |
