| 分野 | 電気・電子 、 計測・分析 、 材料 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 化学的 |
| 機器名 | エックス線光電子分光分析装置(XPSまたはESCA) |
| 製造所名と形式 | クレイトスAXIS-HSi |
| 装置の概要 | 各種試料の表面を構成する原子や分子について，その化学結合状態や電荷の分布などに関する情報を得ることができます。一定エネルギーの軟X線を試料表面に照射し，光電効果により放出される光電子をエネルギーアナライザーで測定することにより、組成分析や状態分析および深さ方向の分析などに対応可能です。 |
| 仕様・構成 | 分析可能元素：Li～U，分析面積：30㎛φ～mmオーダーφ，分析深さ：数nm，試料サイズ：25mm角以下および高さ10mm以下，イメージング：元素像および化学状態像(30㎛分解能)，X線源：Mg特性X線およびAl-kαモノクロX線，イオン銃：Arエッチング |
| 設置年度 | 2002(平成14)年度 |
| 担当窓口 | 島根県産業技術センター 企画調整スタッフ （0852-60-5141） |
| 料金 | 3,330円/時間 |
| 備考 | 電話による事前問い合わせ必要。 |
| 全体写真 |  |
