産業技術総合研究所 中国センター

岡山県工業技術センター

分野 機械 、 電気・電子 、 計測・分析 、 表面処理
有機材料診断
機器名 表面形状測定機
製造所名と形式 (株)小坂研究所 ET4000AK31
装置の概要 基板表面の微細形状、段差、粗さを計測する。

[用途]
表面処理基板の粗さ評価
仕様・構成 測定範囲 Z:100㎛、X:100mm
分解能  Z:0.1nm、X:0.01㎛
設置年度 2008(平成20)年度
担当窓口 岡山県工業技術センター
(086-286-9600)
料金 2,140円/時間
備考
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