| 分野 | 化学 、 計測・分析 、 材料 |
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| 有機材料診断 | 化学的 、 環境・その他 |
| 機器名 | 電界放射型走査電子顕微鏡 |
| 製造所名と形式 | （株）日立ハイテクノロジーズ SU8220 |
| 装置の概要 | 電界放出形電子銃より生じた電子線を試料に走査させ、試料から発生した二次電子、反射電子、透過電子の像を観察することができ、かつ、試料から放出された特性X線を検出することにより元素組成を測定することができる装置である。 |
| 仕様・構成 | 電子銃：冷陰極電界放出形 加速電圧：0.01～30kV 分解能：0.8nm（15kV）、1.1nm（1kV） 倍率：×20～1,000,000 観察像：二次電子、反射電子、走査透過電子像 X線検出器：エネルギー分散形（EDX） |
| 設置年度 | 2016(平成28)年度 |
| 担当窓口 | 岡山県工業技術センター （086-286-9600） |
| 料金 | 11,460円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
