産業技術総合研究所 中国センター

岡山県工業技術センター

分野 化学 、 計測・分析 、 材料
有機材料診断 化学的 、 環境・その他
機器名 走査電子顕微鏡
製造所名と形式 (株)日立ハイテクノロジーズ S-3700N
装置の概要 300mm径の試料を搭載可能な走査電子顕微鏡。観察可能範囲は試料ステージのXYR移動を併用して最大203mm径。二次電子像および反射電子像観察、元素分析を行える。

[用途]
材料表面の観察、微小部の元素分析
仕様・構成 二次電子分解能 3.Onm保証(高真空モード、30kV)
反射電子分解能 4.Onm保証(低真空モード、30kV)
加速電圧 0.5~30kV
分析可能元素 B~Am
最大試料寸法 300mm径
最大観察可能範囲 203mm(XYR併用)
設置年度 2011(平成23)年度
担当窓口 岡山県工業技術センター
(086-286-9600)
料金 5,670円/時間
備考
全体写真 全体写真