産業技術総合研究所 中国センター

岡山県工業技術センター

分野 機械 、 計測・分析
有機材料診断 環境・その他
機器名 万能測定顕微鏡
製造所名と形式 Carl Zeiss O-INSPECT322
装置の概要 画像測定と接触式プローブ測定、非接触三次元形状測定の機能をもつ測定顕微鏡である。画像測定は、光学レンズにより拡大された画像から測定物のエッジなどを検出し、微小な試料の寸法・形状精度・幾何公差などの評価が可能である。接触式プローブではポイント測定やスキャニング測定が可能で、未知形状の断面・輪郭形状の測定が可能である。
仕様・構成 可動範囲(X,Y,Z軸):300×200×200mm
最大測定高さ:200mm
耐荷重:15kg
[画像測定]
最大許容指示誤差MPE_E XY(2D):1.9+150㎛
ズーム倍率:0.5~6.3倍
焦点距離:87mm(ズーム倍率によらず一定)
照明:広角、鋭角、同軸、透過光照明
[接触式プローブ測定]
最大許容指示誤差MPE_E(3D):2.4+150㎛
設置年度 2016(平成28)年度
担当窓口 岡山県工業技術センター
(086-286-9600)
料金 4,530円/時間
備考
全体写真 全体写真