産業技術総合研究所 中国センター

岡山県工業技術センター

分野 材料
有機材料診断 機械的
機器名 薄膜硬度計
製造所名と形式 島津製作所 ダイナミック超微小硬度計 DUH-201S
装置の概要 薄膜、イオン注入層、窒化層などの表面処理層の表面強度特性を評価する。
従来の圧痕形状を測定する硬度計と異なり、試料に圧子を押し込んでゆく過程で、圧子の試料への押し込み深さを自動計測し試料の変形抵抗を測定することで、試料の種々の表面強度の評価可能にしている。
また、ビッカ-ス圧子に交換し、くぼみの対角線長さを測ることにより、規格に準拠したビッカ-ス硬さも求めることができる。

[用途]
・金属材料、セラッミクス、高分子材料の硬さ試験。
・蒸着膜、めっき、イオン注入層、窒化・浸炭層等の表面改質層の硬さ、表面強度の評価。
仕様・構成 (負荷装置)
 負荷方式: 電磁コイル式 
 荷重範囲: 0.1~1,961mN (0.01~200gf)
 荷重精度: ±19.6μNまたは表示荷重の±1%の大きい方以内
 測定最小単位: 0.196μN(0.02mgf) 

(押し込み深さ測定機)
 測定方法: 差動トランス式
 測定範囲: 0 ~10㎛
 測定最小範囲: 0.001㎛
 直線性: フルスケ-ルの±2%

(圧子)
 種類: 三角すい圧子(稜間角115゜)、ビッカ-ス圧子、ヌ-プ圧子

(光学モニタ-)
 顕微鏡総合倍率: ×100、×50、×1,000

(測微装置)
 有効測定範囲: 200㎛
 最小測定範囲: 0.1㎛/ 1パルス

(試料台)
 昇降距離: 約60mm
 面積: 130×130mm
 移動範囲: X、Y軸共25mm

(試験の種類) 
  圧子押し込み試験、負荷一除荷試験
  軟質材料試験、繰り返し試験
  押し込み深さ設定試験、ステップ負荷試験
設置年度 1993(平成5)年度
担当窓口 岡山県工業技術センター
(086-286-9600)
料金 1,320円/時間
備考 消耗品は使用者負担
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