産業技術総合研究所 中国センター

岡山県工業技術センター

分野 機械 、 計測・分析
有機材料診断 環境・その他
機器名 走査型白色干渉計
製造所名と形式 AMETEK株式会社
nexview NX2
装置の概要 垂直走査低コヒーレンス干渉法を利用して,金属加工部品や工具などの表面の三次元高さ情報(表面粗さ,段差,溝幅,キズなど)を非接触で高精度に取得できる。また,電動ステージと連動させることによって,複数の測定結果をつなぎ合わせ,より広い領域の高さ情報を得ることも可能である。
仕様・構成 (非接触式表面粗さ計)
 垂直分解能:0.005nm
 測定領域: 0.09×0.09 mm
 ~13.9×10.4 mm (対物レンズに依存)
設置年度 2019(令和元)年度
担当窓口 岡山県工業技術センター
(086-286-9600)
料金 6,960円/時間
備考
全体写真 全体写真