| 分野 | 計測・分析 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 環境・その他 |
| 機器名 | レーザー顕微鏡 |
| 製造所名と形式 | オリンパス（株） LEXT OLS4000 |
| 装置の概要 | チップなど小型・薄型な物体のカラー３次元形状計測ができます。 また、電子基板の部品の接合具合・異物の有無や、微細な表面形状の確認ができます。 |
| 仕様・構成 | ・レーザー光源：405nm半導体レーザー ・白色光源 ：白色LED ・平面分解能 ：0.2μm ・高さ分解能 ：15nm ・ズーム ：1x～8x ・倍率 ：108x～17,280x ・ステージ ：100mm×100mm |
| 設置年度 | 2010(平成22)年度 |
| 担当窓口 | 広島県立総合技術研究所 東部工業技術センター 技術支援部 (084-931-2402) ekcgijutsu@pref.hiroshima.lg.jp |
| 料金 | 1,000円／時間 |
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| 全体写真 |  |
