| 分野 | 計測・分析 |
|---|---|
| 有機材料診断 | 環境・その他 |
| 機器名 | 走査型電子顕微鏡 |
| 製造所名と形式 | 日本電子株式会社 JSM-6510A |
| 装置の概要 | 半導体，新素材など幅広い機械・機能材料分野での観察と分析にも用いられる。破面観察による破壊原因の調査，異物の分析，研究開発など応用範囲の広い装置。 |
| 仕様・構成 | 分解能 3nm 加速電圧～30kV 最大試料サイズ 150mmφ 分析可能元素 Be～U エネルギー分解能 133eV |
| 設置年度 | 2010（平成22）年度 |
| 担当窓口 | 広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター 技術支援部 (0823-74-1151) wkcgijutsu@pref.hiroshima.lg.jp |
| 料金 | 2,200円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
