| 分野 | 材料 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | マスクアライメントシステム |
| 製造所名と形式 | ユニオン光学㈱ PEM-800 |
| 装置の概要 | 微細パターンの作製 |
| 仕様・構成 | アライメント精度：±5㎛，最大試料サイズ：3インチφ |
| 設置年度 | |
| 担当窓口 | 広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター 技術支援部 (0823-74-1151) wkcgijutsu@pref.hiroshima.lg.jp |
| 料金 | 1,000円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
| 分野 | 材料 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | マスクアライメントシステム |
| 製造所名と形式 | ユニオン光学㈱ PEM-800 |
| 装置の概要 | 微細パターンの作製 |
| 仕様・構成 | アライメント精度：±5㎛，最大試料サイズ：3インチφ |
| 設置年度 | |
| 担当窓口 | 広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター 技術支援部 (0823-74-1151) wkcgijutsu@pref.hiroshima.lg.jp |
| 料金 | 1,000円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 | |