産業技術総合研究所 中国センター

広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター

分野 材料
有機材料診断
機器名 CVD装置
製造所名と形式
装置の概要 DLC、ダイヤモンドの成膜など
仕様・構成 熱フィラメントCVD法、DCププラズマCVD,RFプラズマCVD法,イオン化蒸着法が可能
設置年度
担当窓口 広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター 技術支援部
(0823-74-1151)
wkcgijutsu@pref.hiroshima.lg.jp
料金 400円/時間
備考
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