分野 | 材料 |
---|---|
有機材料診断 | |
機器名 | CVD装置 |
製造所名と形式 | |
装置の概要 | DLC、ダイヤモンドの成膜など |
仕様・構成 | 熱フィラメントCVD法、DCププラズマCVD,RFプラズマCVD法,イオン化蒸着法が可能 |
設置年度 | |
担当窓口 | 広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター 技術支援部 (0823-74-1151) wkcgijutsu@pref.hiroshima.lg.jp |
料金 | 400円/時間 |
備考 | |
全体写真 | ![]() |
分野 | 材料 |
---|---|
有機材料診断 | |
機器名 | CVD装置 |
製造所名と形式 | |
装置の概要 | DLC、ダイヤモンドの成膜など |
仕様・構成 | 熱フィラメントCVD法、DCププラズマCVD,RFプラズマCVD法,イオン化蒸着法が可能 |
設置年度 | |
担当窓口 | 広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター 技術支援部 (0823-74-1151) wkcgijutsu@pref.hiroshima.lg.jp |
料金 | 400円/時間 |
備考 | |
全体写真 | ![]() |