| 分野 | 材料 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | プラズマエッチング装置 |
| 製造所名と形式 | サムコ㈱ RIE-10NRK |
| 装置の概要 | Si，DLCなどのエッチング |
| 仕様・構成 | RF電力～500W， 最大試料サイズ：φ8インチ， 使用ガス：SF6，CF4，CHF3，O2 |
| 設置年度 | |
| 担当窓口 | 広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター 技術支援部 (0823-74-1151) wkcgijutsu@pref.hiroshima.lg.jp |
| 料金 | 1,200円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
| 分野 | 材料 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | プラズマエッチング装置 |
| 製造所名と形式 | サムコ㈱ RIE-10NRK |
| 装置の概要 | Si，DLCなどのエッチング |
| 仕様・構成 | RF電力～500W， 最大試料サイズ：φ8インチ， 使用ガス：SF6，CF4，CHF3，O2 |
| 設置年度 | |
| 担当窓口 | 広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター 技術支援部 (0823-74-1151) wkcgijutsu@pref.hiroshima.lg.jp |
| 料金 | 1,200円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 | |