産友会メールマガジン第40号 【（超）精密計測技術】
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産総研中国センター友の会（産友会）メールマガジン
【第40号/ 2015.4.30発行】
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【特集：（超）精密計測技術】
精密計測は、ものづくりにおける製品の安全・安心の確保、品質の向上などに不可欠な技術です。今年は、6月に｢精密測定展2015｣がパシフィコ横浜で、9月に「測定計測展」が東京ビッグサイトで開催される予定ですが、本号では当該分野の研究開発状況について産総研の技術を中心にご紹介いたします。
（報告書、解説、HP等）
■MSTC加工技術ロードマップ
（財）製造科学技術センターによる本資料には、各種の加工技術と加工精度との関係がまとめられています。
■計量・計測システム分野における技術戦略マップ（NEDO）
本技術マップには、SI基本7単位（秒、メートル、キログラム、アンペア、ケルビン、モル、カンデラ）を中心とした計量・計測システム分野の俯瞰図や個別の技術ロードマップが示されています。
■測定の不確かさ活用のための実態調査報告書
（社）日本計量振興協会による本報告書では、生産分野への測定の不確かさ導入の意義や効果をはじめ、様々な導入活用事例が紹介されています。
■「計測器、分析機器等に関する情報」及び「測定器等の校正サービスに関する情報」
経済産業省の本サイトには、計測機器や校正サービスに関係する機関や団体のHPが掲載されています。
■精密工学会ホームページ
本ホームページの「はじめての精密工学」と「研究所、研究室紹介」欄には、様々な精密計測に関連する記事や機関等が掲載されています。但し、発行後1年未満の資料の閲覧には会員登録が必要となります。
（産総研関係）
■計量標準総合センター（NMIJ）
本センターは、国家計量標準機関として国が整備すべき計量標準の開発・供給と利活用促進、計量標準の普及、計量標準に関連した計測技術の開発、法定計量業務の実施と人材の育成について重点的に取り組んでいます
■分子量のばらつきがない高分子標準物質を開発－分子の長さがそろった人工高分子で高精度計測に貢献－
産総研は、人工的に作られた合成高分子であるにもかかわらず重合度が単一で分子量のばらつきがない認証標準物質を開発しました。今回開発した標準物質には、高分子材料の精密な分子量測定やナノ粒子の粒子径の厳密な計測への貢献が期待されます。
■超高精度、超高分解能のロータリーエンコーダー－ロボットや工作機械の角度制御能力を格段に向上－
産総研などは、超高精度で超高分解能のロータリーエンコーダーを開発しました。これまでの市販品では達成できなかった360°を2の33乗（約86億）に分割した超高分解能、±0.03″（角度秒）の超高精度で角度を計測できます。
■目盛り誤差1ナノメートル以下のリニアエンコーダーを実現－半導体素子や光学素子の加工精度の向上に貢献－
産総研などは、リニアエンコーダー（高精度加工機械などに組み込まれる「ものさし」）の高精度化に取り組み、ナノメートル（nm、1 mmの百万分の1）以下の誤差の目盛を実現しました。今後、半導体素子や光学素子の加工精度の向上への貢献が期待できます。
■動いている物体の形を高速・精密に計測する技術を開発－表面形状を30～2000コマ／秒で3次元計測－
産総研などは、運動・変形する物体表面の形状を高速・高精度・高密度に計測する手法を開発しました。従来の技術ではなしえなかった、高速・精密な形状計測を同時に実現することで、運動する人体の観測による人間の運動解析や医療への応用、柔軟に変形する衣服のモデリングなどが期待されます。
■微細トランジスタの不純物濃度分布を高精度に測定する手法を開発－次世代半導体トランジスタの開発に貢献－
産総研は、微細トランジスタの不純物濃度分布を高精度で測定するための走査トンネル顕微鏡(STM；Scanning Tunneling Microscope)シミュレーション技術を開発しました。これまで難しかったナノメーターレベルの正確な測定が可能となることから、次世代トランジスタの開発への貢献が期待されます。
■量子通信や精密光計測を支える基盤計測技術－光子数識別器による超広帯域スクィーズド光の直接観測－
産総研などは、超伝導転移端センサー（TES）と呼ばれる高効率の光検出器を用いてスクィーズド光の光子統計を直接評価することにより、光源の量子的な性質を計測する技術の開発に取り組んでいます。
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