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強誘電体薄膜   電源を切っても記憶が消えない不揮発性メモリは、半導体集積回路と強誘電体薄膜の一体化により構成され、高度情報化社会において不可欠な記憶媒体です。このメモリへ適用される強誘電体薄膜は、従来の合成法ではプロセス温度が高く、半導体集積回路の劣化を招くため、実用化が阻まれていました。当センターで開発した強誘電体薄膜は、特殊な分子構造を包含した新規溶液原料から作られます。この新しい強誘電体薄膜は低温で結晶化し、かつメモリー特性が優れていることが分かりました。 戻る