製造技術研究部門

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センサシステム技術研究グループ

半導体製造、機械加工、素材関連など幅広い分野を対象に、大きなコストをかけずに製造技術の質の向上を目指すセンサシステム技術の開発に取り組んでいます。従来見落とされてきたプロセス異常やその兆候となる事象の発生を検知・診断するために、圧電センサや解析技術の研究を進め、実環境での評価実証に努めています。センサ等の少量生産に対応するための小型プラズマ源の研究にも取り組んでいます。

チームの研究課題

チームの構成メンバー

グループ長 田原 竜夫(Tatsuo TABARU)
主任研究員 本村 大成(Taisei MOTOMURA)
主任研究員 石田 秀一(Shuichi ISHIDA)
主任研究員 笠嶋 悠司(Yuji KASASHIMA)