集積マイクロシステム研究センター

安心・安全な社会の実現のためにセンサネットワークを活用した取り組みが盛んになってきています。当研究チームでは、MEMSデバイスの応用としてセンサネットワーク技術に取り組んできており、デバイス設計、製造プロセス、実装、評価の観点から、小型・低消費電力・高信頼性に関する技術開発に取り組んでいます。また、電力、動物、人間状態計測等の構造物や生命体のモニタリングに適用することで実用化の推進を行っています。

グリーンナノデバイスチームでは、環境に優しくコストの低い微細加工技術であるナノインプリント技術の開発を進め、大面積への展開が行えるスケーラブルな微細加工技術を開発します。 また、3次元形状を一括して形成できるナノインプリントの特徴を生かしたデバイス開発を図ります。

大規模インテグレーション研究チームでは、MEMSと半導体集積回路、光デバイス、パワーデバイス、通信デバイス、バイオチップなどの異種デバイスを集積化した高機能システムの創出をターゲットとし、大面積で高効率な集積化プロセスの開発を行います。

従来のMEMS技術に対し、材料・化学・流体等の異分野における微小スケール効果応用技術を融合することにより、新しい微細加工技術・応用デバイスを実現するための研究開発を推進します。

テーラーメイド医療、感染症早期検出、在宅健康モニターなどを実現する上で鍵となるMEMS蛍光検出デバイスや、生命現象を捉えることが可能なデバイスの研究開発を進めています。