独立行政法人 産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門

クラスタープロセス Cluster Advanced Nanoprocesses

シリコンナノブロックが開ける技術創造の扉
シリコンナノブロックが開ける技術創造の扉
シリコンナノブロックはシリコン原子が数十から千個程度集合したナノスケールの微結晶体である。 微結晶体を構成する原子の半数以上は表面に顔を覗かせるけれど、酸素や水に対する反応活性はシリコン結晶表面の1000分の1以下と安定な存在である。 シリコンナノブロック単体のナノサイズ領域に閉じ込められた価電子によって、光らないシリコンに発光が見られ、弱電素子に利用されてきたシリコンにバンドギャップの広い強電利用が開けるなど、ナノブロックになることでシリコンの機能性は格段に広がる。 シリコンナノブロックの優れた性質を工業材料として生かす有力手法−クラスタービーム技術。 高精度のビーム技術によって、これまで困難だったシリコンナノブロックの立体超薄膜が創成され、新しい技術創造の扉を開いていく。
シリコンナノブロックはシリコン原子が数十から千個程度集合したナノスケールの微結晶体である。 微結晶体を構成する原子の半数以上は表面に顔を覗かせるけれど、酸素や水に対する反応活性はシリコン結晶表面の1000分の1以下と安定な存在である。 シリコンナノブロック単体のナノサイズ領域に閉じ込められた価電子によって、光らないシリコンに発光が見られ、弱電素子に利用されてきたシリコンにバンドギャップの広い強電利用が開けるなど、ナノブロックになることでシリコンの機能性は格段に広がる。 シリコンナノブロックの優れた性質を工業材料として生かす有力手法−クラスタービーム技術。 高精度のビーム技術によって、これまで困難だったシリコンナノブロックの立体超薄膜が創成され、新しい技術創造の扉を開いていく。