産総研：実環境計測・診断システム協議会の活動紹介

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　　講演会一覧（平成21年度）

回	開催日・開催場所※		分類	題目	所属・肩書き	発表者（敬称略）
1	平成21年4月24日（金）吉塚	1	平成21年度総会記念講演	ナノインプリント技術の開発～ナノ製造の低コスト化～	産総研先進製造プロセス研究部門インプリント製造技術研究グループ研究グループ長	高橋正春
1	平成21年4月24日（金）吉塚	2	平成21年度総会記念講演	ダイヤモンドは材料のフロンティア	産総研ダイヤモンド研究センター研究センター長	藤森直治
2	平成21年7月22日（水）九大伊都	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	マイクロ複合加工技術とその応用	福岡工業大学知能機械工学科教授	仙波卓弥
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	超精密研磨／ＣＭＰ技術とその応用	九州大学大学院工学研究院機械工学部門教授	土肥俊郎
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	マイクロアイスジェットを使った精密洗浄	リックス株式会社技術企画部マネージャー	星野高明
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	基板洗浄工程の基本的考え方とその実際～超精密研磨後の有機残渣除去法～	三菱化学株式会社ＥＬ薬品事業部マネージャー	河瀬康弘
3	平成21年8月3日（月）佐世保	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	低温大気圧プラズマの魅力と産業革新	名古屋大学大学院工学研究科教授名古屋大学プラズマナノ工学研究センター長	堀勝
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	緻密化したセラミックス材料の諸特性と半導体・電子部品製造への応用	日本タングステン株式会社基山工場基礎技術センターグループリーダー	永野光芳
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	半導体デバイス・ウェハテストにおけるプロービング技術と先端クリーニング技術	日本電子材料株式会社熊本事業所取締役熊本事業所長	古﨑新一郎
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	プラズマプロセスを用いた水晶素板薄板化技術とSi ダミーウェハの再生技術	九州電通株式会社取締役技術部長	山田浩
4	平成21年9月1日（火）鳥栖	1	遠隔モニタリング技術研究会主催講演会	ロバストパターン認識技術による動画像中からの異常検知	産業技術総合研究所情報技術研究部門	佐藤雄隆
		2	遠隔モニタリング技術研究会主催講演会	都市基盤の事故災害低減とセンシングによる監視	東京大学大学院工学系研究科社会基盤学専攻教授	藤野陽三
		3	遠隔モニタリング技術研究会主催講演会	港湾構造物における維持管理の現状と課題	港湾空港技術研究所　地盤・構造部　構造研究領域構造研究チーム	川端雄一郎
5	平成21年10月1日（木）博多駅東	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	有機エレクトロニクスのディスプレイ応用	九州大学産学連携センタープロジェクト部門教授	服部励治
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	微細回路形成におけるスクリーン印刷技術	パナソニックファクトリーソリューションズ(株) 開発センタープロセス開発グループグループマネージャー	大武裕治
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	ナノペーストとプリンテッドエレクトロニクス	ハリマ化成株式会社電子材料事業部企画部長	小山賢秀
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	ハイパーブランチポリマー及び金属ナノ粒子の開発	合成研究部新材料グループ副主任研究員	安井圭
		5	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	無機ナノ粒子を組み込んだ有機・無機ハイブリッドデバイスの開発	九州大学先導物質化学研究所先端素子材料部門准教授	藤田克彦
		6	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	新しい低分子系有機EL 材料	崇城大学工学部ナノサイエンス学科教授	八田泰三
		7	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	有機ＥＬ用正孔輸送材料の開発	東ソー株式会社南陽研究所ファインケミカルグループ副主任研究員	松本直樹
		8	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	新しい有機発光デバイスへの展開～新機構、分子配向、液体半導体～	九州大学未来化学創造センター光機能材料部門教授	安達千波矢
6	平成21年10月22日（木）NSM株式会社	1	産総研“出前シンポジウム”	半導体技術の限界への挑戦	産総研ナノ電子デバイス研究センター長	金山敏彦
		2	産総研“出前シンポジウム”	新材料・新構造CMOSデバイス技術	産総研ナノ電子デバイス研究センター極限構造トランジスタ研究チーム長	太田裕之
		3	産総研“出前シンポジウム”	次世代多層配線材料・構造と計測・評価技術	産総研ナノ電子デバイス研究センター主幹研究員	秦信宏
		4	産総研“出前シンポジウム”	量産ラインの製造品質向上技術の研究	産総研生産計測技術研究センター主任研究員	上杉文彦
7	平成21年10月30日（金）祇園	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	ガスクラスターイオンビームによる非接触・高精度平坦化加工技術	兵庫県立大学大学院工学研究科インキュベーションセンター准教授	豊田紀章
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	計測評価技術の基礎と応用	九州大学大学院工学研究院機械工学部門准教授	黒河周平
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	光描画でサブミクロン、早く・安く・高精度～レーザ描画基礎技術の研究開発～	株式会社ピーエムティー取締役	小坂光二
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	先端分析評価技術の原理と適用事例	福菱セミコンエンジニアリング㈱分析評価事業部技術営業1 課課長	杉浦　健
		5	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	半導体ウエハ加工工程での異物検査技術の原理と適用例	（株）日立ハイテクノロジーズナノテクノロジーズ製品事業本部那珂事業所光学応用システム設計部主管技師	野口稔
8	平成21年11月6日（金）吉塚	1	表面・界面技術研究会主催講演会	スラブ光分光法を用いた固液界面のその場観察方法の開発	産総研生産計測技術研究センター　研究チーム長	松田直樹
		2	表面・界面技術研究会主催講演会	アルミナナノホールアレーの構造制御と機能化	首都大都市環境学部分子応用化学コース　教授（財）神奈川科学技術アカデミー（KAST）　グループリーダー	益田秀樹
		3	表面・界面技術研究会主催講演会	糖デンドリマー界面を利用したバイオインターフェースの創製	北陸先端科学技術大学院大学　マテリアルサイエンス研究科　准教授	三浦佳子
		4	遠隔モニタリング技術研究会主催講演会	応力発光とは何か～現象と応用展開	産総研生産計測技術研究センター　主任研究員	山田浩志
		5	遠隔モニタリング技術研究会主催講演会	応力発光塗膜センサの開発	産総研生産計測技術研究センター　主任研究員	今井祐介
		6	遠隔モニタリング技術研究会主催講演会	ユビキタス光源としての応力発光体	産総研生産計測技術研究センター　研究員	寺崎　正
		7	平成21年度秋季講演会	先端パワーデバイスの現状と今後の展望	産総研エネルギー半導体エレクトロニクス研究ラボ　招聘研究員	大橋弘通
		8	平成21年度秋季講演会	土壌・地下水汚染のリスク管理	産総研地圏資源環境研究部門副研究部門長	駒井　武
9	平成21年11月16日（月）鳥栖	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	位相差検出法を用いたワイヤーボンドの3D 検査装置	産総研生産計測技術研究センター招聘研究員	坂井一文
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	多焦点ユニットを用いたIC リードの鮮明画像の取得と高さ計測	鹿児島県工業技術センター主任研究員	久保　敦
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	スペックル干渉法を利用したＩＣの熱膨張計測	福岡県工業技術センター専門研究員	内野正和
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	IC リードフレームのしみ欠陥検出方法の開発	熊本県産業技術センター研究参事	重森清史
		5	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	半導体ウエハ加工工程での異物検査技術の原理と適用例	九州工業大学工学研究院先端機能システム研究系准教授	脇迫　仁
10	平成21年11月20日（金）熊本	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	最先端ナノデバイスのための超損傷・中性粒子ビームプロセス	東北大学流体科学研究所流体融合研究センター知的ナノプロセス研究分野教授	寒川誠二
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	薄膜Si 太陽電池のためのプラズマCVD 技術のキーポイント	九州大学大学院システム情報科学研究院電子デバイス工学部門教授	白谷正治
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	大気圧プラズマを用いた太陽電池テクスチャと電極溝の作製	宮崎大学工学部電気電子工学科准教授	迫田達也
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	薄膜Si のプラズマCVD プロセスと微細構造制御	産業技術総合研究所太陽光発電研究センター研究員	布村正太
		5	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	大面積・高効率薄膜シリコン太陽電池の開発	三菱重工（株）原動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット主席技師	竹内良昭
11	平成21年12月25日（金）吉塚	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	次世代太陽電池として期待される色素増感太陽電池の研究開発の現状と今後の動向予測	九州工業大学大学院生命体工学研究科教授	早瀬修二
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	有機薄膜太陽電池の最新動向	産業技術総合研究所太陽光発電研究センター有機新材料チーム長	吉田郵司
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	低分子系有機EL材料の開発動向	新日鐵化学（株）機能化学材料研究所グループリーダー	宮崎浩
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	ケミカルエッチングによるポリイミド加工技術の最新動向	東レエンジニアリング（株）エレクトロニクス事業本部ファインプロセス事業部ファインプロセス営業部微細加工課課長	奥薗博和
12	平成22年1月29日（金）博多駅東	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	超音波振動を援用した加工技術	九州大学大学院工学研究院機械工学部門准教授	大西修
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	電界砥粒・スラリー制御技術が拓く先進基盤加工技術開発	秋田県産業技術総合研究センター上席研究員	赤上陽一
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	エレクトロニクス分野の先端洗浄技術	三菱電機（株）先端技術総合研究所主席研究員	宮本誠
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	超高速・超平坦化を実現する電解研磨技術	（株）半導体先端テクノロジーズバックエンドプロセスプログラムプログラムマネージャー	近藤誠一
		5	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	「精密液体霧化技術の半導体デバイス洗浄への応用」	旭サナック（株）ＮＣ事業部長取締役	宮地計二
13	平成22年2月18日（木）機電研	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	スペックル干渉法を利用したＩＣの熱膨張計測	福岡県工業技術センター専門研究員	内野正和
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	IC リードフレームのしみ欠陥検出方法の開発	熊本県産業技術センター研究参事	重森清史
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	多焦点ユニットを用いたIC リードの鮮明画像の取得と高さ計測	鹿児島県工業技術センター主任研究員	久保敦
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	位相差検出法を用いたワイヤーボンドの3D 検査装置	産総研生産計測技術研究センター招聘研究員	坂井一文
		5	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	電子部品の高速かつ高精度な二次元・三次元同時形状検査ユニットの開発	和歌山大学システム工学部メカトロニクス学科　准教授学生自主創造科学センター・副センター長	藤垣元治
14	平成22年3月1日（月）博多	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	NEDO における3 次元実装技術の取り組み	独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構電子・情報技術開発部プログラムマネージャー	安藤淳
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	IMEC’s 3D Integration Design and Technology	IMEC Business Development	石谷明彦
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	3 次元LSI に向けた九州発のコア技術	九州大学大学院システム情報科学研究院情報エレクトロニクス部門教授	浅野種正
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	パナソニックの3 次元LSI 作製工程におけるプラズマエッチング技術	パナソニックファクトリーソリューションズ㈱開発センタープラズマ加工開発グループグループリーダー	有田潔
15	平成22年3月5日（金）吉塚	1	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	プラズマエッチングの現状と課題	京都大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻教授	斧高一
		2	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	多重内部反射赤外分光法によるシリコンウエハの汚染診断	東北大学電気通信研究所教授	庭野道夫
		3	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	ドライエッチング装置における、ＥＳＣウエハステージの現状と課題	キャノンアネルバ（株）第二ED 事業部第三プロダクト部部長	佐護康実
		4	半導体プロセス研究会主催講演会（KICCとの共催）	プラズマを使用する半導体製造装置のアルミ素材と表面処理について	九州三井アルミニウム工業（株）半導体機器事業本部製品技術部部長	蓮尾俊治

※開催場所	吉塚：（財）福岡県中小企業振興センター
	鳥栖：産総研九州センター
	九大伊都：九州大学伊都キャンパス
	佐世保：アルカスSASEBO
	博多駅東：A.R.K ビル
	祇園：中小企業基盤整備機構九州支部
	熊本：KKR ホテル熊本
	機電研：福岡県工業技術センター機械電子研究所
	博多：KKRホテル博多